台式真空直讀光譜儀-真空對性能的影響[博越儀器]

根據光柵所處的環境不同，可分爲真空型和非真空型台式真空直讀光譜儀，其中非真空台式真空直讀光譜儀又可分爲空氣型直讀光譜儀（無法測定真空紫外波段的C、P、S、As等元素含量）和充惰性氣體型直讀光譜儀（可以測定真空紫外元素），這裏面又有什麽奧秘呢？下面隨着博越工程師一探究竟。

首先真空台式直讀光譜儀的結構要比非真空直讀光譜光複雜，在真空條件下必須保證各種光學不變形不位移，尤其是分光室的結構必須考慮受力均勻，變形小。對于真空度爲10-3mm/Hg，要有專用真空泵設備，爲了防止油蒸汽汙染分光儀的內部，影響光學零件的透過率，真空泵設在分光儀的底部。並且5代在設計上采用防震措施，使整個分光儀的光路不受震動的影響。這樣真空室內與真空外部接觸的運動零件要減少，並且密封，免除抽真空時發生漏氣，影響真空度。

真空直讀光譜儀主要是用來研究真空紫外光譜區光譜，對鑄造分析來講，主要是應用于碳、硫、磷、砷、硼等元素分析。由于空氣嚴重影響遠紫外光譜的吸收，所以必須把分光室內抽成真空。這是由于空氣成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各種惰性氣體組成，其中以前三者含量最高，空氣對遠紫外光譜的吸收是很強烈的，尤其以氧氣的吸收最爲嚴重。惰性氣體的吸收是比較小的，可以忽略不計。如5代光譜分析儀真空直讀光譜儀的分光系統置于無氧的空間中爲此配備了抽氣系統，抽氣系統由高速泵組成。爲了防止抽至低真空時，光電倍增管的管帽間產生輝光放電而燒毀儀器，在分光室上裝有保護器，當真空度小于0.03Mpa時光電倍增管負高壓自動切斷。

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