掃描電子顯微鏡在材料領域的應用有哪些-專家詳解[博越儀器]

掃描電子顯微鏡在材料領域的應用有哪些？掃描電子顯微鏡最基本的功能是對各種固體樣品表面進行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，例如：生物學，植物學，地質學，冶金學等等。下面我們就來具體了解下。

在掃描電鏡應用中，很多集中在半導體器件和集成電路方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因爲這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細節或相互關系可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測半導體P—N結內部缺陷。

 電子束與樣品作用區內，還發射與樣品物質其他性質有關信號。例如：與樣品化學成分分布相關的，背散射電子，特征X射線，俄歇電子，陰極荧光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結構相關的，背散射電子衍射現象的探測；與半導體材料電學性能相關的，二次電子信號、電子束感生電流信號；在觀察薄樣品時產生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用于探測和定性定量分析樣品物質的相關信息。

掃描電子顯微鏡在材料領域的應用有哪些？掃描電子顯微鏡對于固體材料的研究應用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提並論。對于固體材料的全面特征的描述，掃描電子顯微鏡是至關重要的。